進和工業株式会社

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Reel to Reel 方式のウェットプロセス装置

Reel to Reel ウェット設備

  • 通常のコンベア式装置と異なり、駆動系が薬品処理チャンバー内にほとんどありません。
    一般的なTAB装置は材料の巻出し、PVCまたはPPなどの
    耐薬品性ウェットチャンバー、巻取り、および搬送駆動部から構成されています。

  • 処理方式としては、水平搬送式・垂直搬送式があります。
    最近の傾向として、処理材料の屈曲を極力避ける傾向があります。更に、日常的な作業性の面から水平搬送型処理装置が主流となっています。

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フレキシブルキャリアテープの搬送

  • 当初はスプロケットホールを用いた搬送方式でしたが、回路パターンのファイン化に伴い、最近ではホールを用いない搬送方式が主流となっています。
    要所要所で基材に適したガイドローラを設置し、薬液処理部で多少の走行ずれが生じても安定したテープ送りが可能な搬送システムで設計・製作しています。

    1. サーボモーターなど高機能モータを用いた搬送制御
    2. 補助駆動システム(テンションコントロール)
    3. ダンサーロールによるフィルムテープの巻出し、巻取りシステム

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多様な処理工程

  • 写真製版技術を用いた膜回路形成プロセスは多工程にわたります。
    1. フォトレジスト塗布装置(他、DFRラミネータなど)
    2. 露光装置(弊社製作範囲外)
    3. エッチングレジスト現像装置
    4. エッチング装置
    5. エッチングレジスト剥離装置
    6. フォトソルダレジスト(PSR)による絶縁層パターン形成
    7. ニッケル―金メッキ あるいはスズめっき

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新規技術開発

  • パターニング形成用感光材料の新規応用展開、
    両面回路形成術を主題として開発をおこなっています。

  • 装置のメンテナンス性やプロセスの安定化を改善するために、
    装置・プロセス両面から技術開発にとりくんでいます

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