エッチングチャンバーは複数連結（タンデム）、水洗ユニットやレジスト剥離ユニットと連結することが可能です。
また、右図の様なReel to Reel ライン対応も可能です。
各ノズルヘッダーの独立圧力調整や高温仕様（６０〜７０℃エッチング）もご相談ください。
エレクトロフォーミング用ウェットプロセス装置
リフトオフ法を用いた薄膜回路形成装置も製作いたします。
自己触媒鍍金（化学鍍金あるいは無電解鍍金）、置換鍍金、電解鍍金（銅、ニッケル、金など）の小型バッチ式鍍金装置が製作可能です。
右図はフープ状のプラスチック基材に無電解銅鍍金を施す装置です。Reel to Reelによる連続処理対応も可能ですから別途問合せ下さい。
