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弊社製品についてのお問い合わせは、下記にて承っております。 ※装置のお見積り依頼・お問い合わせの際は予め下記項目をご確認の上、ご連絡頂ければより高いプラニングが可能です。 A:処理材料に関する資料 @基板材質、最大処理サイズ、最小処理サイズ、厚さなど。 A積層物の材質、物性など。 B感光性材料の特性、膜厚など。 B:処理工程に関する資料 @各プロセスの処理時間、処理薬品、処理温度、処理条件など。 A希望する処理能力(計画生産量)、実稼働時間など。 B補充システム、液管理システムの必要性の有無。 C:ユーティリティに関する情報 @エア、給水、冷却水、電源など供給可能なユーティリティなど。 A排水・廃液、ミスト含有排気、熱排気など。。
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