洗浄装置
ブラシスクラブ洗浄・超音波洗浄装置など
パターニング装置
基板上の薄膜パターニング(現像・エッチング・剥離)
※カラーフィルター(CF)再生装置に関しては国内外で納入実績有、
プロセスまで含めた仕様決定が可能です。
LTCC 厚膜感光性導体ペースト現像装置(導体回路形成)
セラミック基板用 各種電解鍍金装置/無電解鍍金装置
サーマルプリンタヘッドTPH用 ウェット設備
(現像・エッチング・剥離)
フォトエッチング法で製造される電子部品のウェットプロセスラインも製作いたします。
焼成プロセスで生じたスパイク状異物を除去する洗浄装置も製作いたします。
バッチ式鍍金装置も製作可能です。詳細に関してはお問合せ下さい。
(Metal ITO Film基材を用いた静電容量式タッチパネル製造設備)
R2R方式の量産設備
DFRを用いたL/S=~30/30の回路形成可能
枚葉方式からR2Rへ転換 ⇒ 高い歩留と生産性を両立
2009年 プロセス開発に着手
FPC用パターニング装置(現像・エッチング剥離)レジスト塗布装置
L/F用 レジスト塗布装置 現像装置 エッチングー剥離装置
実装用ダミーフィルム 洗浄装置 リアプロフィルム洗浄装置
RFID用 ALエッチング・剥離装置
ダンサー制御方式など基材に応じて適切な搬送方式を採用します。
最大製作実績 Max.1800o
ディップコータ・ロールコータの製作実績あり
8〜30μmの金属箔(Cu・Al・Ni等)も対応可能です。
レジスト塗布装置(前処理・プリベーク装置含む)
PR現像・Cuエッチング・PR剥離・PSR現像装置
Ni+金鍍金装置・電解スズ鍍金装置
その他 前処理化学研磨装置・電解脱脂装置など
電着レジスト塗布装置
無電解鍍金装置
電解銅鍍金装置
CCL材開発用途など
小枚葉プラスチック材料の静電気と埃除去を目的としたクリーニング装置です。
製品カタログ
PS版の消去作業後の水洗洗浄と仕上げゴム引き工程を一体化したプロセッサー
専用処理液 SIPガム液を案内します。
小型化とメンテナンスの容易性を追求して開発されたPS版プロセッサーです。